10月31日，为深入推进微系统设备自立自强论证工作，电科装备组织召开微系统专家组第一次会议，对相关工作进行研讨部署。

　　会议介绍了电科装备微系统专项论证进展情况。与会专家分别汇报了微系统核心设备研制基础和发展规划，并围绕微系统“1+6”工艺平台设备需求进行研讨。就下一阶段工作部署，会议强调，一要抓住重点，聚焦TSV、RDL等异质、异构集成的关键工艺设备，重点关注信息处理微系统平台；二要立足主责主业，重点布局与本单位发展方向、技术方向、产业方向高契合度的产品；三要结合技术基础，针对设备特点制定不同的解决方案；四要强化需求牵引，坚持问题导向，解决用户工艺线“真问题”；五要继续加强与“1+6”微系统平台的需求对接，为后续重大任务的落地提供有力支撑。

　　（来源/电科装备 罗天）